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真空滅弧室內部真空度出廠標準為<1.33×10-3Pa，真空壽命為20年。 真空滅弧室的動導電桿與波紋管密封一起，是一可動部件，通過與操動機構連接，在操動機構帶動下，可以沿滅弧室軸向運動從而帶動滅弧室動觸頭完成合、分動作。
當動導電桿在操動機構帶動下合閘時，動靜觸頭閉合，電源與負載接通。當動導電桿在操動機構帶動下帶電分閘時，觸頭間產生真空電弧。
當真空滅弧室的觸頭在真空中帶電分離時，電接觸表面積迅速減小，當動、定觸頭在分離的瞬間，電流收縮到觸頭剛分離的某一點或某幾點上，電極間電阻劇烈增大，溫度也迅速提高，最后金屬橋熔化并蒸發出大量的金屬蒸汽，同時形成極高的電場強度，導致劇烈的場致發射和間隙的擊穿，產生了真空電弧，真空電弧不是靠電極間氣體分子電離來維持的，而是依靠觸頭材料蒸發所形成的出來金屬蒸汽來維持。
當工作電流接近零時，同時觸頭間距的增大，真空電弧的等離子體很快向四周擴散，電弧電流過零后，觸頭間隙的介質迅速由導電體變為絕緣體，于是電流被分斷，開斷結束。
燃弧過程中產生的金屬蒸汽被屏蔽罩表面冷凝，釋放的少量氣體中的一部分被凝聚的金屬蒸汽吸收，一部分被滅弧室內的吸氣劑吸收，是真空滅弧室一直維持較高的真空度。
如果具有合理的觸頭結構，可以使電弧均勻分布在觸頭表面，從而減小電弧能量和觸頭的電腐蝕速度，并使真空滅弧室具有較高的弧后介質強度的恢復速度。
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